1. Fjernelse af støvpartikler i støvfrit rent rum
Hovedfunktionen i det rene rum er at kontrollere renheden, temperaturen og fugtigheden i atmosfæren, som produkter (såsom siliciumchips osv.) Udsættes for, så produkterne kan produceres og fremstilles i et godt miljørum. Vi kalder dette rum som rent rum. I henhold til international praksis bestemmes renlighedsniveauet hovedsageligt af antallet af partikler pr. Kubikmeter luft med en diameter større end klassificeringsstandarden. Med andre ord er den såkaldte støvfri ikke 100% støvfri, men kontrolleret i en meget lille enhed. Selvfølgelig er de partikler, der opfylder støvstandarden i denne standard, allerede meget små sammenlignet med det almindelige støv, vi ser, men for optiske strukturer vil selv et lille støv have en meget stor negativ indvirkning, så støvfri er et uundgåeligt krav I produktionen af optiske strukturprodukter.
Kontrol af antallet af støvpartikler med en partikelstørrelse større end eller lig med 0,5 mikron pr. Kubikmeter til mindre end 3520/kubikmeter når klasse A i den internationale støvfri standard. Den støvfri standard, der bruges i produktion og behandling af chipniveau, har højere krav til støv end klasse A, og en så høj standard bruges hovedsageligt i produktionen af nogle chips på højere niveau. Antallet af støvpartikler kontrolleres strengt med 35.200 pr. Kubikmeter, som almindeligt er kendt som klasse B i rent rumindustri.
2. tre slags rent rumstater
Tomt rent rum: Et rent rumfacilitet, der er bygget og kan bruges. Det har alle relevante tjenester og funktioner. Der er dog ikke noget udstyr, der drives af operatører i anlægget.
Statisk rent rum: Et rent rumfacilitet med komplette funktioner, korrekte indstillinger og installation, som kan bruges i henhold til indstillingerne eller er i brug, men der er ingen operatører i anlægget.
Dynamisk rent rum: et rent rum i normal brug med komplette servicefunktioner, udstyr og personale; Om nødvendigt kan normalt arbejde udføres.
3. Kontrolelementer
(1). Kan fjerne støvpartikler, der flyder i luften.
(2). Kan forhindre generering af støvpartikler.
(3). Kontrol af temperatur og fugtighed.
(4). Trykregulering.
(5). Eliminering af skadelige gasser.
(6). Lufttæthed af strukturer og rum.
(7). Forebyggelse af statisk elektricitet.
(8). Forebyggelse af elektromagnetisk interferens.
(9). Overvejelse af sikkerhedsfaktorer.
(10). Overvejelse af energibesparelse.
4. klassificering
Turbulent strømningstype
Luft kommer ind i det rene rum fra klimaanlægget gennem luftkanalen og luftfilteret (HEPA) i rent rum og returneres fra partitionsvægpanelerne eller forhøjede gulve på begge sider af det rene rum. Luftstrømmen bevæger sig ikke på en lineær måde, men præsenterer en uregelmæssig turbulent eller hvirvelstat. Denne type er velegnet til klasse 1.000-100.000 rent rum.
Definition: Et rent rum, hvor luftstrømmen strømmer med en ujævn hastighed og ikke er parallel, ledsaget af tilbagestrømning eller hvirvelstrøm.
Princip: Turbulente rene værelser er afhængige af luftforsyningsluftstrømmen for kontinuerligt at fortynde den indendørs luft og fortynder gradvist den forurenede luft for at opnå renlighed (turbulente rene værelser er generelt designet til renlighedsniveauer over 1.000 til 300.000).
Funktioner: Turbulente rene værelser er afhængige af flere ventilationer for at opnå renhed og renlighedsniveauer. Antallet af ventilationsændringer bestemmer oprensningsniveauet i definitionen (jo flere ventilationsændringer, jo højere er renhedsniveauet)
(1) Selvrensningstid: Henviser til det tidspunkt, hvor det rene rum begynder at levere luft til det rene rum i henhold til det designede ventilationsnummer, og støvkoncentrationen i rummet når det designede renhedsniveau klasse 1.000 forventes ikke at være mere end 20 minutter (15 minutter kan bruges til beregning) Klasse 10.000 forventes at være ikke mere end 30 minutter (25 minutter kan bruges til beregning) Klasse 100.000 forventes at være ikke mere end 40 minutter (30 minutter kan bruges til Beregning)
(2) Ventilationsfrekvens (designet efter ovennævnte krav til selvrensningstid) Klasse 1.000: 43,5-55,3 gange/time (standard: 50 gange/time) Klasse 10.000: 23,8-28,6 gange/time (standard: 25 gange/time ) Klasse 100.000: 14.4-19.2 gange/time (standard: 15 gange/time)
Fordele: Enkel struktur, lave systemkonstruktionsomkostninger, lette at udvide det rene rum, på nogle specielle formålsteder kan støvfri ren bænk bruges til at forbedre den rene værelsesklasse.
Ulemper: Støvpartikler forårsaget af turbulens flyder i indendørs rum og er vanskelige at blive udskrevet, hvilket let kan forurene procesprodukter. Hvis systemet desuden stoppes og derefter aktiveres, tager det ofte lang tid at opnå den krævede renlighed.
Laminær flow
Laminær flowluft bevæger sig i en ensartet lige linje. Luft kommer ind i rummet gennem et filter med en 100% dækningshastighed og returneres gennem det forhøjede gulv eller partitionspladerne på begge sider. Denne type er velegnet til brug i rent rummiljøer med højere rentrumskvaliteter, generelt klasse 1 ~ 100. Der er to typer:
(1) Horisontal laminær strømning: Horisontal luft sprænges ud fra filteret i en enkelt retning og returneres af returluftsystemet på den modsatte væg. Støv udledes udendørs med luftretning. Generelt er forurening mere alvorlig på nedstrøms side.
Fordele: Enkel struktur, kan blive stabil på kort tid efter drift.
Ulemper: Konstruktionsomkostninger er højere end turbulent strømning, og det indendørs rum er ikke let at udvide.
(2) Lodret laminær flow: Rumloftet er fuldstændigt dækket med ULPA -filtre, og luft sprænges fra top til bund, hvilket kan opnå en højere renlighed. Støv genereret under processen eller af personalet kan hurtigt udledes udendørs uden at påvirke andre arbejdsområder.
Fordele: Let at styre, stabil tilstand kan opnås inden for kort tid efter operationen starter og ikke let påvirkes af driftstilstanden eller operatørerne.
Ulemper: høje byggeomkostninger, vanskelige at fleksibelt bruge plads, loftsbøjler optager meget plads og besværlige at reparere og erstatte filtre.
Sammensatte type
Den sammensatte type er at kombinere eller bruge turbulent strømningstype og laminær strømningstype sammen, som kan give lokal ultra-ren luft.
(1) Ren tunnel: Brug HEPA- eller ULPA -filtre til at dække 100% af procesområdet eller arbejdsområdet for at øge renlighedsniveauet til over klasse 10, hvilket kan spare installations- og driftsomkostninger.
Denne type kræver, at operatørens arbejdsområde isoleres fra produkt- og maskinvedligeholdelse for at undgå at påvirke arbejdet og kvaliteten under maskinvedligeholdelse.
Rene tunneler har to andre fordele: A. Let at udvide fleksibelt; B. Vedligeholdelse af udstyr kan let udføres i vedligeholdelsesområdet.
(2. Luftforsyning kan opnå god renlighed, som kan spare energi og er bedst egnet til automatiserede produktionslinjer, der ikke kræver manuel arbejdskraft. Det gælder for de farmaceutiske, fødevare- og halvlederindustrier.
(3) Rent sted: Renlighedsniveauet for produktprocessenområdet i det turbulente rene rum med et rent rumniveau på 10.000 ~ 100.000 øges til 10 ~ 1000 eller derover til produktionsformål; Rene arbejdsbænke, rene skure, præfabrikerede rene værelser og rene garderobeskabe hører til denne kategori.
Ren bænk: Klasse 1 ~ 100.
Clean Booth: Et lille rum omgivet af anti-statisk gennemsigtig plastik i turbulent rent rumplads ved hjælp af uafhængig HEPA eller ULPA og klimaanlæg til at blive et rent rum på højere niveau med et niveau på 10 ~ 1000, en højde på omkring omkring 2,5 meter og et dækningsområde på ca. 10 m2 eller mindre. Det har fire søjler og er udstyret med bevægelige hjul til fleksibel brug.
5. Airflow Flow
Betydningen af luftstrøm
Renligheden af et rent rum påvirkes ofte af luftstrøm. Med andre ord styres bevægelsen og diffusionen af støv genereret af mennesker, maskingeværelse, bygningsstrukturer osv. Af luftstrømmen.
Det rene rum bruger HEPA og ULPA til at filtrere luft, og dens støvopsamlingshastighed er så høj som 99,97 ~ 99,99995%, så luften, der er filtreret af dette filter, kan siges at være meget ren. Ud over mennesker er der imidlertid også støvkilder såsom maskiner i det rene rum. Når disse genererede støv spredes, er det umuligt at opretholde et rent rum, så luftstrømmen skal bruges til hurtigt at udlede det genererede støv udendørs.
Påvirkende faktorer
Der er mange faktorer, der påvirker luftstrømmen i et rent rum, såsom procesudstyr, personale, rent rummonteringsmaterialer, belysningsarmaturer osv. På samme tid bør afledningspunktet for luftstrømmen over produktionsudstyret også tages ind i betragtning.
Luftstrømens afledningspunkt på overfladen af et generelt operationsbord eller produktionsudstyr skal indstilles til 2/3 af afstanden mellem det rene rumområde og partitionskortet. På denne måde, når operatøren arbejder, kan luftstrømmen strømme fra indersiden af procesområdet til driftsområdet og fjerne støvet; Hvis afledningspunktet er konfigureret foran processen, vil det blive en forkert luftstrømsafledning. På dette tidspunkt vil det meste af luftstrømmen strømme til bagsiden af procesområdet, og støvet forårsaget af operatørens operation vil blive ført til bagsiden af udstyret, og arbejdsbænken vil være forurenet, og udbyttet vil uundgåeligt falde.
Hindringer som arbejdstabeller i rene værelser vil have hvirvelstrømme ved krydset, og renligheden i nærheden af dem vil være relativt dårlig. Boring af et returlufthul på arbejdsbordet minimerer hvirvelstrømfænomenet; Hvorvidt udvælgelsen af monteringsmaterialer er passende, og om udstyrslayoutet er perfekt, er også vigtige faktorer for, om luftstrømmen bliver et hvirvelstrømfænomen.
6. Sammensætning af rent rum
Sammensætningen af det rene rum er sammensat af følgende systemer (hvoraf ingen er uundværlig i systemmolekylerne), ellers vil det ikke være muligt at danne et komplet og rent rum af høj kvalitet:
(1) Loftsystem: inklusive loftstang, I-bjælke eller U-bjælke, loftgitter eller loftsramme.
(2) Airconditionsystem: inklusive lufthytte, filtersystem, vindmølle osv.
(3) Partikelvæg: inklusive vinduer og døre.
(4) Gulv: inklusive forhøjet gulv eller antistatisk gulv.
(5) Belysningsarmaturer: LED -rensning flad lampe.
Hovedstrukturen i det rene rum er generelt lavet af stålstænger eller knogler, men uanset hvilken slags struktur det er, skal den opfylde følgende betingelser:
A. Ingen revner vil forekomme på grund af temperaturændringer og vibrationer;
B. Det er ikke let at fremstille støvpartikler, og det er vanskeligt for partikler at fastgøre;
C. lav hygroskopicitet;
D. For at opretholde fugtighedsforholdene i det rene rum, skal den termiske isolering være høj;
7. Klassificering ved hjælp
Industrielt rent rum
Kontrollen med livløse partikler er objektet. Det kontrollerer hovedsageligt forureningen af luftstøvpartikler til arbejdsobjektet, og interiøret opretholder generelt en positiv tryktilstand. Det er velegnet til præcisionsmaskinerindustri, elektronikindustri (halvledere, integrerede kredsløb osv.), Aerospace-industri, kemisk industri med høj renhed, atomenergiindustri, optisk og magnetisk produktindustri (CD, film, båndproduktion) LCD (Liquid Crystal Glas), computerharddisk, computerhovedproduktion og andre industrier.
Biologisk rent rum
Kontrollerer hovedsageligt forureningen af levende partikler (bakterier) og livløse partikler (støv) til arbejdsobjektet. Det kan opdeles i;
A. Generelt biologisk rent rum: kontrollerer hovedsageligt forurening af mikrobielle (bakterielle) genstande. På samme tid skal dets interne materialer være i stand til at modstå erosionen af forskellige steriliseringsmidler, og interiøret garanterer generelt positivt tryk. I det væsentlige skal de interne materialer være i stand til at modstå forskellige steriliseringsbehandlinger af industrielt rent rum. Eksempler: Farmaceutisk industri, hospitaler (operationsstuer, sterile afdelinger), mad, kosmetik, produktion af drikkevarer, dyrelaboratorier, fysiske og kemiske testlaboratorier, blodstationer osv.
B. Biologisk sikkerhed Clean Room: kontrollerer hovedsageligt forureningen af levende partikler fra arbejdsproduktet til omverdenen og mennesker. Det interne tryk skal holdes negativt med atmosfæren. Eksempler: bakteriologi, biologi, rene laboratorier, fysisk teknik (rekombinante gener, vaccineforberedelse)
Posttid: Feb-07-2025