

Et relativt komplet automatisk styresystem/-enhed bør installeres i renrummet, hvilket er meget gavnligt for at sikre den normale produktion i renrummet og forbedre drifts- og ledelsesniveauet, men byggeinvesteringerne skal øges.
Forskellige typer renrum har forskellige krav og tekniske parametre, herunder overvågning af luftrenhed, temperatur og fugtighed i renrum, overvågning af trykforskelle i renrum, overvågning af gas med høj renhed og rent vand, overvågning af gasrenhed og ren vandkvalitet, og renrums skala og areal varierer også meget i forskellige brancher. Funktionerne i det automatiske styresystem/-enhed bør derfor bestemmes i henhold til de specifikke forhold i renrumsprojektet og bør indbygges i forskellige typer overvågnings- og kontrolsystemer. Kun renrum er designet med distribuerede computerstyrings- og overvågningssystemer.
Det automatiske styrings- og overvågningssystem i moderne højteknologiske renrum, repræsenteret af mikroelektroniske renrum, er et omfattende system, der integrerer elektrisk teknologi, automatiseret instrumentering, computerteknologi og netværkskommunikationsteknologi. Kun ved korrekt og fornuftig brug af hver teknologi kan systemet opfylde de nødvendige kontrol- og overvågningskrav.
For at sikre de strenge krav til kontrol af produktionsmiljøet i elektroniske renrum, skal styresystemerne i offentlige strømforsyningssystemer, rensende klimaanlæg osv. først og fremmest have høj pålidelighed.
For det andet kræves det, at forskellige kontroludstyr og instrumenter er åbne for at opfylde kravene til netværksstyring af hele renrummet. Produktionsteknologien for elektroniske produkter udvikler sig hurtigt. Designet af det automatiske kontrolsystem i det elektroniske renrum bør være fleksibelt og skalerbart for at imødekomme ændringerne i kontrolkravene i renrummet. Den distribuerede netværksstruktur har en god menneske-computer-interaktionsgrænseflade, som bedre kan realisere detektering, overvågning og kontrol af produktionsmiljøet og forskellige offentlige strømforsyningsudstyr, og kan anvendes til renrumsstyring ved hjælp af computerteknologi. Når parameterindekskravene i renrummet ikke er særlig strenge, kan konventionelle instrumenter også bruges til styring. Uanset hvilken metode der anvendes, bør styringsnøjagtigheden opfylde produktionskravene, opnå stabil og pålidelig drift og opnå energibesparelser og emissionsreduktion.
Opslagstidspunkt: 23. feb. 2024