Installationen af procesudstyr i renrum bør baseres på renrummets design og funktion. Følgende detaljer vil blive introduceret.
1. Udstyrsinstallationsmetode: Den ideelle metode er at lukke rent rum i udstyrsinstallationsperioden og have en dør, der kan opfylde udstyrets synsvinkel eller reservere en passage for at tillade nyt udstyr at passere igennem og komme ind i rent rum i orden for at forhindre, at et rent rum nær installationsperioden bliver forurenet, bør der træffes beskyttelsesforanstaltninger for at sikre, at renrummet stadig opfylder dets krav til renlighed og det efterfølgende arbejde, der kræves.
2. Hvis arbejdet i renrum ikke kan standses i hver installationsperiode, eller hvis der er konstruktioner, der skal demonteres, skal løbende renrum være effektivt isoleret fra arbejdsområdet: midlertidige isoleringsvægge eller skillevægge kan anvendes. For ikke at hindre installationsarbejdet skal der være nok plads omkring udstyret. Hvis forholdene tillader det, kan adgang til isolationsområdet ske gennem servicekanaler eller andre ikke-kritiske områder: Hvis dette ikke er muligt, bør der træffes foranstaltninger for at minimere forureningspåvirkningen fra installationsarbejdet. Isoleringsområdet skal opretholde samme tryk eller undertryk. Den rene lufttilførsel bør afbrydes i højhusområdet for at undgå positivt tryk på det omgivende renrum. Hvis adgangen til isolationsområdet kun er gennem et tilstødende rent rum, skal der bruges klæbrige puder til at fjerne snavs på skoene.
3. Når du er kommet ind i det høje område, kan engangsstøvler eller overtrækssko og arbejdstøj i ét stykke bruges for at undgå at forurene rent rum. Disse engangsartikler skal fjernes, før de forlader karantæneområdet. Metoder til overvågning af området omkring isolationsområdet under udstyrsinstallationsprocessen bør udvikles, og overvågningsfrekvensen bør bestemmes for at sikre, at enhver forurening, der kan lække ind i det tilstødende renrum, opdages. Efter at isoleringsforanstaltningerne er opstillet, kan der opsættes forskellige nødvendige offentlige servicefaciliteter såsom elektricitet, vand, gas, vakuum, trykluft og spildevandsrørledninger. Der bør lægges vægt på at kontrollere og isolere røgen og snavs, der genereres af operationen. så vidt muligt for at undgå utilsigtet spredning til omgivende renrum. Det skal også lette effektiv rengøring før fjernelse af isolationsbarrieren. Efter at de offentlige servicefaciliteter opfylder brugskravene, bør hele isolationsområdet rengøres og dekontamineres i henhold til de foreskrevne rengøringsprocedurer. Alle overflader, inklusive alle vægge, udstyr (fast og bevægeligt) og gulve, bør støvsuges, tørres og vaskes, med særlig opmærksomhed på rengøring af områder bag udstyrsskærme og under udstyr.
4. En foreløbig test af udstyrets ydeevne kan udføres baseret på de faktiske forhold i renrummet og det installerede udstyr, men efterfølgende accepttest bør udføres, når de rene miljøbetingelser er fuldt ud opfyldt. Afhængigt af forholdene på installationsstedet kan du begynde forsigtigt at afmontere isolationsvæggen; hvis den rene lufttilførsel er blevet slukket, genstart den; tidspunktet for denne fase af arbejdet bør vælges omhyggeligt for at minimere interferens med det normale arbejde i renrummet. På dette tidspunkt kan det være nødvendigt at måle, om koncentrationen af luftbårne partikler opfylder de specificerede krav.
5. Rengøring og klargøring af det indre af udstyret og nøgleproceskamrene bør udføres under normale renrumsforhold. Alle indvendige kamre og alle overflader, der kommer i kontakt med produktet eller er involveret i produkttransport, skal tørres ned til det påkrævede renhedsniveau. Rengøringssekvensen for udstyret skal være fra top til bund. Hvis partikler spredes, vil større partikler falde til bunden af udstyret eller jorden på grund af tyngdekraften. Rengør den ydre overflade af udstyret fra top til bund. Når det er nødvendigt, bør overfladepartikeldetektion udføres i områder, hvor produkt- eller produktionsproceskravene er kritiske.
6. I lyset af egenskaberne ved renrum, især det store område, høje investeringer, høje output og meget strenge krav til renlighed i højteknologiske renrum, er installationen af produktionsprocesudstyr i denne type renrum mere lig den af almindeligt rent rum. Der er ingen specifikke krav. Til dette formål indeholdt den udgivne nationale standard "Code for Clean Room Construction and Quality Acceptance" nogle bestemmelser for installation af produktionsprocesudstyr i renrum, hovedsagelig inklusive følgende.
A. For at forhindre forurening eller endda beskadigelse af rent rum (område), der har gennemgået "tom" accept under installationsprocessen af produktionsprocesudstyr, må installationsprocessen af udstyret ikke have overdreven vibration eller hældning og må ikke være opdelt og forurene udstyrsoverflader.
B. For at gøre installationen af produktionsprocesudstyr i renrum (område) ordnet og uden eller med mindre siddetid, og for at følge det rene produktionsstyringssystem i renrum, skal det sikres, at installationsprocessen af produktionsudstyret er beskyttet iht. til de forskellige "færdige produkter" og "halvfabrikata", der accepteres i "tom tilstand", må materialer, maskiner osv., der skal bruges i installationsprocessen, ikke afgive eller må producere (herunder ved normal drift af rengøret) plads til lang tid) forurenende stoffer, der er skadelige for de producerede produkter. Renrumsmaterialer, der er støvfri, rustfri, fedtfri og ikke producerer støv under brug, bør anvendes.
C. Bygningsdekorationsoverfladen på det rene rum (området) skal beskyttes med rene rumspaneler, film og andre materialer; udstyrsbagpladen skal være fremstillet i overensstemmelse med design eller udstyrs tekniske dokumentkrav. Hvis der ikke er krav, bør der anvendes rustfri stålplader eller plastplader. Kulstofstålprofiler, der bruges til uafhængige fundamenter og gulvforstærkninger, skal behandles med anti-korrosion, og overfladen skal være flad og glat; elastiske tætningsmaterialer bør anvendes til fugning.
D. Materialer skal mærkes med ingredienser, varianter, fremstillingsdato, opbevarings gyldighedsperiode, byggemetode instruktioner og produktcertifikater. Maskiner og værktøj, der anvendes i renrum (områder), må ikke flyttes til ikke-rene rum (områder) til brug. Maskiner og værktøj må ikke flyttes til renrum (område) til brug. Maskiner og værktøj, der anvendes i rene områder, skal sikre, at de udsatte dele af maskinen ikke producerer støv eller træffe foranstaltninger for at forhindre støv i at forurene miljøet. Almindelig brugte maskiner og værktøjer bør rengøres i luftsluse, før de flyttes til et rent område og skal opfylde kravene om at være oliefri, smudsfri, støvfri og rustfri, og bør flyttes efter bestået inspektion og fastgørelse et "Rengør" eller "Kun område"-skilt.
E. Produktionsprocesudstyret i renrum (område) skal installeres på "specifikke gulve", såsom hævede gulve. Udstyrsfundamentet bør generelt sættes på det nederste tekniske mezzaningulv eller på den porøse cementplade; de aktiviteter, der skal demonteres for at installere fundamentet. Gulvets struktur efter skæring med en håndholdt elektrisk sav bør forstærkes, og dets bæreevne bør ikke være lavere end den oprindelige bæreevne. Når der anvendes et uafhængigt fundament af en stålrammekonstruktion, skal det være lavet af galvaniseret materiale eller rustfrit stål, og den udsatte overflade skal være flad og glat.
F. Når installationsprocessen af produktionsprocesudstyr i renrum (område) kræver åbning af huller i vægpaneler, nedhængte lofter og hævede gulve, må boreoperationerne ikke opdele eller forurene overfladerne af vægpaneler og nedhængte loftspaneler, der skal bibeholdt. Efter åbningen af det hævede gulv, når fundamentet ikke kan installeres i tide, skal der monteres sikkerhedsrækværk og fareskilte; efter at produktionsudstyret er installeret, skal spalten omkring hullet forsegles, og udstyret og tætningskomponenterne skal være i fleksibel kontakt, og forbindelsen mellem tætningskomponenten og vægpanelet skal være tæt og fast; tætningsfladen på den ene side af arbejdsrummet skal være flad og glat.
Indlægstid: 16-jan-2024