Installation af procesudstyr i renrum bør baseres på renrummets design og funktion. Følgende detaljer vil blive introduceret.
1. Udstyrsinstallationsmetode: Den ideelle metode er at lukke renrummet under udstyrets installationsperiode og have en dør, der kan passe til udstyrets synsvinkel, eller reservere en passage, så nyt udstyr kan passere igennem og ind i renrummet for at forhindre, at renrummet nær installationsperioden bliver kontamineret. Der bør træffes beskyttelsesforanstaltninger for at sikre, at renrummet stadig opfylder sine renhedskrav og det efterfølgende nødvendige arbejde.
2. Hvis arbejdet i renrummet ikke kan stoppes under hver installationsperiode, eller hvis der er strukturer, der skal demonteres, skal et renrum, der kører, isoleres effektivt fra arbejdsområdet: midlertidige isoleringsvægge eller skillevægge kan anvendes. For ikke at hindre installationsarbejdet, skal der være tilstrækkelig plads omkring udstyret. Hvis forholdene tillader det, kan adgang til isoleringsområdet ske gennem servicekanaler eller andre ikke-kritiske områder: hvis dette ikke er muligt, skal der træffes foranstaltninger for at minimere forureningspåvirkningen forårsaget af installationsarbejdet. Isoleringsområdet skal opretholde et ensartet tryk eller et undertryk. Tilførslen af ren luft bør afbrydes i højhusområdet for at undgå overtryk på det omgivende renrum. Hvis adgangen til isoleringsområdet kun er gennem et tilstødende renrum, bør der anvendes klæbepuder til at fjerne snavs, der medbringes på skoene.
3. Efter indtræden i højtliggende områder kan engangsstøvler eller -overtræk og arbejdstøj i ét stykke bruges for at undgå kontaminering af renrum. Disse engangsartikler bør fjernes, inden karantæneområdet forlades. Der bør udvikles metoder til overvågning af området omkring isolationsområdet under installationsprocessen af udstyret, og hyppigheden af overvågningen bør bestemmes for at sikre, at enhver kontaminering, der kan sive ind i det tilstødende renrum, opdages. Efter at isolationsforanstaltningerne er etableret, kan forskellige nødvendige offentlige servicefaciliteter etableres, såsom elektricitets-, vand-, gas-, støvsuger-, trykluft- og spildevandsledninger. Der bør lægges vægt på at kontrollere og isolere røg og snavs, der genereres under operationen, så meget som muligt for at undgå utilsigtet spredning til det omgivende renrum. Det bør også fremme effektiv rengøring, før isolationsbarrieren fjernes. Når de offentlige servicefaciliteter opfylder brugskravene, bør hele isolationsområdet rengøres og dekontamineres i henhold til de foreskrevne rengøringsprocedurer. Alle overflader, inklusive alle vægge, udstyr (fast og bevægeligt) og gulve, bør støvsuges, aftørres og moppes, med særlig opmærksomhed på rengøring af områder bag udstyrsafskærmninger og under udstyret.
4. En indledende test af udstyrets ydeevne kan udføres baseret på de faktiske forhold i renrummet og det installerede udstyr, men efterfølgende accepttest bør udføres, når betingelserne for rent miljø er fuldt ud opfyldt. Afhængigt af forholdene på installationsstedet kan du begynde forsigtigt at afmontere isoleringsvæggen; hvis renluftforsyningen er blevet slukket, skal den genstartes; tidspunktet for denne fase af arbejdet bør vælges omhyggeligt for at minimere forstyrrelser af renrummets normale arbejde. På dette tidspunkt kan det være nødvendigt at måle, om koncentrationen af luftbårne partikler opfylder de specificerede krav.
5. Rengøring og klargøring af udstyrets indvendige dele og vigtige proceskamre skal udføres under normale renrumsforhold. Alle indvendige kamre og alle overflader, der kommer i kontakt med produktet eller er involveret i produkttransport, skal aftørres til det krævede niveau af renlighed. Rengøringssekvensen for udstyret skal være fra top til bund. Hvis partikler spredes, vil større partikler falde til bunden af udstyret eller jorden på grund af tyngdekraften. Rengør udstyrets ydre overflade fra top til bund. Når det er nødvendigt, bør overfladepartikeldetektion udføres i områder, hvor produkt- eller produktionsprocessens krav er kritiske.
6. I betragtning af renrums karakteristika, især det store område, de høje investeringer, den høje produktion og de meget strenge renhedskrav i højteknologiske renrum, er installationen af produktionsudstyr i denne type renrum mere lig installationen af almindeligt renrum. Der er ingen specifikke krav. Med henblik herpå har den nationale standard "Code for Clean Room Construction and Quality Acceptance", der er udgivet, fastsat nogle bestemmelser for installation af produktionsudstyr i renrum, herunder hovedsageligt følgende.
A. For at forhindre kontaminering eller endda skade på renrum (område), der har gennemgået "tom" accept under installationsprocessen af produktionsudstyr, må installationsprocessen af udstyret ikke medføre overdreven vibration eller hældning, og det må ikke være opdelt og kontaminere udstyrets overflader.
B. For at sikre en ordentlig installation af produktionsudstyr i renrum (område) uden eller med mindre stilstand, og for at følge det rene produktionsstyringssystem i renrum, skal det sikres, at installationsprocessen for produktionsudstyret er beskyttet i henhold til de forskellige "færdige produkter" og "halvfabrikata", der accepteres i "tom tilstand", må materialer, maskiner osv., der skal anvendes i installationsprocessen, ikke udlede eller producere (herunder under normal drift af renrummet i længere tid) forurenende stoffer, der er skadelige for de producerede produkter. Der bør anvendes renrumsmaterialer, der er støvfri, rustfri, fedtfri og ikke producerer støv under brug.
C. Bygningens dekorationsoverflade i renrummet (området) skal beskyttes med renrumspaneler, film og andre materialer; udstyrets bagplade skal fremstilles i henhold til design- eller udstyrets tekniske dokumentationskrav. Hvis der ikke er krav, skal der anvendes rustfri stålplader eller plastplader. Kulstofstålprofiler, der anvendes til uafhængige fundamenter og gulvforstærkninger, skal behandles med korrosionsbeskyttelse, og overfladen skal være plan og glat; elastiske tætningsmaterialer skal anvendes til fugemasse.
D. Materialer skal mærkes med ingredienser, sorter, fremstillingsdato, opbevaringsgyldighedsperiode, instruktioner for konstruktionsmetoder og produktcertifikater. Maskiner og værktøj, der anvendes i renrum(er), må ikke flyttes til ikke-rene rum(er) til brug. Maskiner og værktøj må ikke flyttes til renrum(er) til brug. Maskiner og værktøj, der anvendes i rent område, skal sikre, at maskinens eksponerede dele ikke producerer støv, eller der skal træffes foranstaltninger for at forhindre støv i at forurene miljøet. Almindeligt anvendte maskiner og værktøjer skal rengøres i et luftsluse, før de flyttes til et rent område, og de skal opfylde kravene om at være oliefri, snavsfri, støvfri og rustfri, og de skal flyttes efter bestået inspektion og anbringelse af et "Rent" eller "Kun rent område"-skilt.
E. Produktionsudstyr i renrum (område) skal installeres på "specifikke gulve", såsom hævede gulve. Udstyrsfundamentet bør generelt placeres på den nederste tekniske mezzanin eller på den porøse cementplade; de aktiviteter, der skal demonteres for at installere fundamentet. Gulvstrukturen skal forstærkes efter skæring med en håndholdt elektrisk sav, og dens bæreevne bør ikke være lavere end den oprindelige bæreevne. Når der anvendes et uafhængigt fundament af en stålrammekonstruktion, skal det være lavet af galvaniseret materiale eller rustfrit stål, og den eksponerede overflade skal være flad og glat.
F. Når installationsprocessen for produktionsudstyr i renrum (område) kræver åbning af huller i vægpaneler, nedhængte lofter og hævede gulve, må boreoperationerne ikke opdele eller forurene overfladerne på vægpaneler og nedhængte loftspaneler, der skal bevares. Efter åbning af det hævede gulv, når fundamentet ikke kan installeres i tide, skal der installeres sikkerhedsgelændere og fareskilte. Efter installation af produktionsudstyret skal mellemrummet omkring hullet forsegles, og udstyret og tætningskomponenterne skal være i fleksibel kontakt, og forbindelsen mellem tætningskomponenten og vægpanelet skal være tæt og fast. Tætningsfladen på den ene side af arbejdsrummet skal være flad og glat.
Opslagstidspunkt: 16. januar 2024