Brandsikringsfaciliteter er en vigtig del af renrummet. Dets betydning skyldes ikke kun, at procesudstyret og byggeprojekterne er dyre, men også fordi renrum er relativt lukkede bygninger, og nogle er endda vinduesløse værksteder. Renrumspassagerne er smalle og snoede, hvilket gør det vanskeligt at evakuere personale og lære at slukke brand. For at sikre menneskers liv og ejendoms sikkerhed bør brandsikringspolitikken "forebyggelse først, kombination af forebyggelse og brand" implementeres i designet. Ud over at træffe effektive brandforebyggende foranstaltninger i designet af renrummet, skal der også etableres nødvendige brandbekæmpelsesfaciliteter. Produktionsegenskaberne for renrum er:
(1) Der findes mange præcisionsudstyr og -instrumenter, og der anvendes en række forskellige brandfarlige, eksplosive, ætsende og giftige gasser og væsker. Brandfaren for nogle produktionsdele tilhører kategori C (såsom oxidationsdiffusion, fotolitografi, ionimplantation, trykning og emballering osv.), og nogle tilhører kategori A (såsom enkeltkrystaludtrækning, epitaksi, kemisk dampaflejring osv.).
(2) Renrummet er meget lufttæt. Når der opstår brand, vil det være vanskeligt at evakuere personalet og slukke branden.
(3) Byggeomkostningerne for renrum er høje, og udstyret og instrumenterne er dyre. Når der opstår brand, vil de økonomiske tab være enorme.
Baseret på ovenstående karakteristika har renrum meget høje krav til brandbeskyttelse. Ud over brandbeskyttelse og vandforsyningssystem bør der også installeres faste brandslukningsanordninger, især værdifuldt udstyr og instrumenter i renrum skal omhyggeligt bestemmes.
Opslagstidspunkt: 11. april 2024