Brandsikringsfaciliteter er en vigtig del af renrummet. Dets betydning er ikke kun fordi dets procesudstyr og byggeprojekter er dyre, men også fordi rene rum er relativt lukkede bygninger, og nogle er endda vinduesløse værksteder. Renrumspassagerne er smalle og snoede, hvilket gør det vanskeligt at evakuere personale og undervise i ild. For at sikre sikkerheden for menneskers liv og ejendom bør brandbeskyttelsespolitikken "forebyggelse først, kombinere forebyggelse og brand" implementeres i designet. Udover at træffe effektive brandforebyggende foranstaltninger i indretningen af renrummet, opsættes der desuden nødvendige brandslukningsfaciliteter. Produktionsegenskaberne for renrum er:
(1) Der er mange præcisionsudstyr og -instrumenter, og der bruges en række brandfarlige, eksplosive, ætsende og giftige gasser og væsker. Brandfaren for nogle produktionsdele hører til kategori C (såsom oxidationsdiffusion, fotolitografi, ionimplantation, trykning og emballering osv.), og nogle tilhører kategori A (såsom enkeltkrystaltræk, epitaksi, kemisk dampaflejring osv.) .).
(2) Renrummet er meget lufttæt. Når der først er udbrudt brand, vil det være svært at evakuere personale og slukke branden.
(3) Byggeomkostningerne for renrum er høje, og udstyr og instrumenter er dyre. Når en brand først bryder ud, vil de økonomiske tab være enorme.
Baseret på ovenstående karakteristika stiller renrum meget høje krav til brandsikring. Ud over brandsikrings- og vandforsyningssystemet bør der også installeres faste brandslukningsanordninger, især værdifuldt udstyr og instrumenter i renrum skal omhyggeligt bestemmes.
Indlægstid: 11-apr-2024