Brandbeskyttelsesfaciliteter er en vigtig del af det rene rum. Dets betydning er ikke kun fordi dets procesudstyr og byggeprojekter er dyre, men også fordi rene værelser er relativt lukkede bygninger, og nogle er endda vinduesfri workshops. Passagerne i Clean Room er smalle og krumme, hvilket gør det vanskeligt at evakuere personale og undervise i ild. For at sikre sikkerheden i folks liv og ejendom, bør brandbeskyttelsespolitikken for "forebyggelse først, at kombinere forebyggelse og brand" implementeres i designet. Ud over at tage effektive brandforebyggelsesforanstaltninger i designet af det rene rum, er der desuden også nødvendige brandbekæmpelsesfaciliteter. Produktionsegenskaberne for rene værelser er:
(1) Der er mange præcisionsudstyr og instrumenter, og der anvendes en række brandfarlige, eksplosive, ætsende og giftige gasser og væsker. Brandfare for nogle produktionsdele hører til kategori C (såsom oxidationsdiffusion, fotolitografi, ionimplantation, udskrivning og emballage osv.), Og nogle hører til kategori A (såsom enkelt krystaltrækning, epitaxy, kemisk dampaflejring osv. .).
(2) Det rene rum er meget lufttæt. Når en brand bryder ud, vil det være vanskeligt at evakuere personale og slukke ilden.
(3) Bygningsomkostningerne for rent rum er høje, og udstyret og instrumenterne er dyre. Når en brand bryder ud, vil de økonomiske tab være enorme.
Baseret på ovenstående egenskaber har rene værelser meget høje krav til brandbeskyttelse. Ud over brandbeskyttelsen og vandforsyningssystemet skal der også installeres faste brandslukningsanordninger, især værdifuldt udstyr og instrumenter i rent rum skal bestemmes omhyggeligt.
Posttid: Apr-11-2024