1. Inden for renrum bør der etableres forskellige typer kemikalieopbevarings- og distributionsrum baseret på kravene til produktets produktionsproces og kemikaliets fysiske og kemiske egenskaber. Rørledninger bør anvendes til at forsyne de nødvendige kemikalier med produktionsudstyret. Kemikalieopbevarings- og distributionsrum i renrum er typisk placeret i et hjælpeproduktionsområde, typisk i stueetagen i en et- eller fleretagers bygning, nær en ydervæg. Kemikalier bør opbevares separat i henhold til deres fysiske og kemiske egenskaber. Inkompatible kemikalier bør placeres i separate kemikalieopbevarings- og distributionsrum, adskilt af solide skillevægge. Farlige kemikalier bør opbevares i separate opbevarings- eller distributionsrum med en brandmodstandsevne på mindst 2,0 timer mellem tilstødende rum. Disse rum bør være placeret i et rum på første sal i produktionsbygningen, nær en ydervæg.
2. Renrum i elektronikindustrien har ofte opbevarings- og distributionsrum til syrer og baser samt til brandfarlige opløsningsmidler. Syreopbevarings- og distributionsrum huser typisk opbevarings- og distributionssystemer til svovlsyre, fosforsyre, flussyre og saltsyre. Alkaliopbevarings- og distributionsrum huser typisk opbevarings- og distributionssystemer til natriumhydroxid, hydroxidkage, ammoniumhydroxid og tetramethylammoniumhydroxid. Opbevarings- og distributionsrum til brandfarlige opløsningsmidler huser typisk opbevarings- og distributionssystemer til organiske opløsningsmidler såsom isopropylalkohol (IPA). Renrum i fabrikationer af integrerede kredsløbswafere har også opbevarings- og distributionsrum til poleringsslam. Kemiske opbevarings- og distributionsrum er typisk placeret i hjælpeproduktions- eller supportområder nær eller ved siden af rene produktionsområder, typisk på første sal med direkte adgang til det fri.
3. Kemikalieopbevarings- og distributionsrum er udstyret med opbevaringstønder eller -tanke med varierende kapacitet baseret på type, mængde og brugsegenskaber for de kemikalier, der kræves til produktproduktion. I henhold til standarder og forskrifter skal kemikalier opbevares separat og klassificeres. Kapaciteten af de anvendte tønder eller tanke skal være tilstrækkelig til syv dages forbrug af kemikalierne. Der skal også stilles daglige tønder eller tanke til rådighed med en kapacitet, der er tilstrækkelig til at dække det døgnåbne forbrug af kemikalier, der kræves til produktproduktion. Opbevarings- og distributionsrum til brandfarlige opløsningsmidler og oxiderende kemikalier skal være adskilte og adskilt fra tilstødende rum af solide brandsikre vægge med en brandmodstandsklassificering på 3,0 timer. Hvis de er placeret på første sal i en bygning i flere etager, skal de være adskilt fra andre områder af ikke-brændbare gulve med en brandmodstandsklassificering på mindst 1,5 timer. Det centraliserede kontrolrum til kemikaliesikkerheds- og overvågningssystemet i renrummet skal være placeret i et separat rum.
4. Højden på kemikalieopbevarings- og distributionsrum i renrum bør bestemmes ud fra kravene til udstyr og rørføringslayout og bør generelt ikke være mindre end 4,5 meter. Hvis kemikalieopbevarings- og distributionsrummet er placeret inden for renrummets hjælpeproduktionsområde, skal højden på kemikalieopbevarings- og distributionsrummet stemme overens med bygningens højde.
Opslagstidspunkt: 1. august 2025