Kilderne til partikler er opdelt i uorganiske partikler, organiske partikler og levende partikler. For den menneskelige krop er det let at forårsage luftvejs- og lungesygdomme, og det kan også forårsage allergier og virusinfektioner; for siliciumchips vil fastgørelsen af støvpartikler forårsage deformation eller kortslutning af integrerede kredsløb, hvilket får chipsene til at miste deres driftsfunktioner, så styringen af mikroforureningskilder er blevet en vigtig del af renrumsstyring.
Betydningen af miljøkontrol i renrum ligger i at sikre, at miljøforholdene i produktionsprocessen opfylder specifikke renhedsstandarder, hvilket er afgørende for mange industrier. Følgende er vigtigheden og den specifikke rolle af miljøkontrol i renrum:
1. Sikre produktkvalitet
1.1 Forebyg forurening: I industrier såsom halvledere, lægemidler og medicinsk udstyr kan små partikelforurenende stoffer forårsage produktfejl eller fejl. Ved at kontrollere luftkvaliteten og partikelkoncentrationen i renrummet kan disse forurenende stoffer effektivt forhindres i at påvirke produktet.
Ud over den indledende investering i hardwareudstyr kræver vedligeholdelse og kontrol af renrumsrenlighed også et godt "software"-styringssystem for at opretholde god renlighed. Ud fra dataresultaterne i ovenstående figur kan det ses, at operatørerne har størst indflydelse på renrummets renlighed. Når operatørerne kommer ind i renrummet, øges støvet markant. Når der går folk frem og tilbage, forringes renligheden straks. Det kan ses, at hovedårsagen til forringelsen af renligheden er menneskelige faktorer.
1.2 Konsistens: Renrumsmiljøet er med til at opretholde konsistensen og repeterbarheden af produktionsprocessen og sikrer derved stabil produktkvalitet.
Hvad angår glassubstratet, vil vedhæftningen af støvpartikler forårsage ridser på glassubstratet, kortslutninger og bobler og anden dårlig proceskvalitet, hvilket resulterer i skrotning. Derfor er kontrollen med forureningskilderne blevet en vigtig del af renrumsstyringen.
Eksternt støvindtrængning og forebyggelse
Renrummet skal opretholde et korrekt overtryk (>0,5 mm/Hg), gøre et godt stykke arbejde i det foreløbige byggeprojekt for at sikre, at der ikke er luftlækage, og før medbringelse af personale, udstyr, råmaterialer, værktøj, forbrugsstoffer mv. ind i det rene rum, skal de rengøres og tørres af osv. Støvforebyggende handlinger. Samtidig skal rengøringsværktøjer placeres korrekt og udskiftes eller rengøres regelmæssigt.
Støvdannelse og forebyggelse i rene rum
Passende udvælgelse af renrumsmaterialer såsom skillevægge og gulve, kontrol af procesudstyr, dvs. regelmæssig vedligeholdelse og rengøring, produktionspersonale må ikke gå rundt eller foretage store kropsbevægelser på deres lokaliteter, og forebyggende foranstaltninger såsom tilføjelse af klæbrige måtter er taget på særlige stationer.
2. Forbedre produktionseffektiviteten
2.1 Reducer skrotraten: Ved at reducere urenheder og forurenende stoffer i produktionsprocessen kan skrotraten reduceres, udbyttegraden kan øges, og dermed produktionseffektiviteten kan forbedres.
For eksempel: Der er 600 trin i waferproduktion. Hvis udbyttet af hver proces er 99 %, hvad er det samlede udbytte af 600 procesprocedurer? Svar: 0,99^600 = 0,24%.
Hvor højt skal udbyttet af hvert trin være for at gøre en proces økonomisk gennemførlig?
•0,999^600= 54,8 %
•0,9999^600=94,2 %
Hvert procesudbytte skal nå mere end 99,99% for at opfylde det endelige procesudbytte på mere end 90%, og forureningen af mikropartikler vil direkte påvirke procesudbyttet.
2.2 Fremskynd processen: Arbejde i et rent miljø kan reducere unødvendig rengøring og efterbearbejdningstid, hvilket gør produktionsprocessen mere effektiv.
3. Sikre personalets sundhed og sikkerhed
3.1 Arbejdsmiljø: For nogle produktionsprocesser, der kan frigive skadelige stoffer, kan rene rum forhindre skadelige stoffer i at sprede sig til det ydre miljø og beskytte arbejdstagernes sundhed. Siden menneskehedens udvikling er teknologi, udstyr og viden forbedret, men luftkvaliteten er gået tilbage. En person inhalerer omkring 270.000 M3 luft i sit liv og tilbringer 70% til 90% af sin tid indendørs. Små partikler inhaleres af menneskekroppen og aflejres i åndedrætssystemet. Partikler på 5 til 30um aflejres i nasopharynx, partikler på 1 til 5um aflejres i luftrøret og bronkierne, og partikler under 1um aflejres i alveolvæggen.
Mennesker, der er i et rum med utilstrækkelig frisk luftvolumen i lang tid, er tilbøjelige til "indendørssyndrom", med symptomer som hovedpine, trykken for brystet og træthed, og er også tilbøjelige til luftvejs- og nervesystemsygdomme. mit lands nationale standard GB/T18883-2002 foreskriver, at friskluftmængden ikke bør være mindre end 30m3/t. person.
Friskluftvolumen i renrummet bør have den maksimale værdi af følgende to elementer:
en. Summen af den luftmængde, der kræves for at kompensere for indendørs udsugningsvolumen og for at sikre den indendørs positive trykværdi.
b. Sørg for den friske luft, der kræves af renrumspersonalet. Ifølge renrumsdesignspecifikationerne er den friske luftmængde pr. person i timen ikke mindre end 40m3.
3.2 Sikker produktion: Ved at kontrollere miljøparametre såsom fugtighed og temperatur kan sikkerhedsrisici såsom elektrostatisk udladning undgås for at sikre produktionssikkerheden.
4. Opfyld regulatoriske krav og standardkrav
4.1 Industristandarder: Mange industrier har strenge renhedsstandarder (såsom ISO 14644), og produktionen skal udføres i renrum af specifikke kvaliteter. Overholdelse af disse standarder er ikke kun et lovkrav, men også en afspejling af virksomhedernes konkurrenceevne.
For rent arbejdsbord, rent skur, laminært flow-overførselsvindue, ventilatorfilterenhed FFU, rent garderobeskab, laminar flow-hætte, vejehætte, ren skærm, selvrenser, luftbruserserieprodukter, er det nødvendigt at standardisere metoderne til renhedstestning af eksisterende produkter for at forbedre produkternes troværdighed.
4.2 Certificering og revision: Bestå revisionen af tredjepartscertificeringsbureauer og opnå relevante certificeringer (såsom GMP, ISO 9001 osv.) for at øge kundernes tillid og udvide markedsadgangen.
5. Fremme teknologisk innovation
5.1 F&U-støtte: Rene rum giver et ideelt eksperimentelt miljø for højteknologisk produktudvikling og hjælper med at fremskynde udviklingen af nye produkter.
5.2 Procesoptimering: Under et strengt kontrolleret miljø er det nemmere at observere og analysere virkningen af procesændringer på produktets ydeevne og derved fremme procesforbedringer.
6. Forbedre mærkeimage
6.1 Kvalitetssikring: At have rene produktionsfaciliteter af høj standard kan forbedre varemærkets image og øge kundernes tillid til produktkvalitet.
6.2 Markedets konkurrenceevne: Produkter, der kan produceres i et rent miljø, betragtes ofte som et symbol på høj kvalitet og høj pålidelighed, hvilket hjælper virksomheder med at skille sig ud i den hårde markedskonkurrence.
7. Reducer reparations- og vedligeholdelsesomkostninger
7.1 Forlæng udstyrets levetid: Produktionsudstyr og værktøjer, der arbejder under rene forhold, er mindre modtagelige for korrosion og slid, hvilket forlænger levetiden og reducerer vedligeholdelsesfrekvensen og -omkostningerne.
7.2 Reducer energiforbruget: Ved at optimere design og styring af renrum, forbedre energieffektiviteten, reducere energiforbruget og driftsomkostningerne.
Fire principper for rentrumsdriftsstyring:
1. Medbring ikke:
Rammen på hepa-filteret kan ikke lække.
Det beregnede tryk skal opretholdes indendørs.
Operatører skal skifte tøj og gå ind i det rene rum efter luftbruser.
Alt brugt materiale, udstyr og værktøj skal rengøres, før de kan bringes ind.
2. Generer ikke:
Personalet skal bære støvfrit tøj.
Reducer unødvendige handlinger.
Brug ikke materialer, der er lette at generere støv.
Unødvendige ting kan ikke medbringes.
3. Ophob ikke:
Der bør ikke være hjørner og maskinperiferi, som er svære at rengøre eller rengøre.
Forsøg at minimere de udsatte luftkanaler, vandrør osv. indendørs.
Rengøring skal udføres efter standardmetoder og angivne tider.
4. Fjern straks:
Øg antallet af luftskift.
Udstødning nær den støvgenererende del.
Forbedre luftstrømmens form for at forhindre, at støv klæber til produktet.
Kort sagt er miljøkontrol i rene rum af stor betydning for at sikre produktkvalitet, forbedre produktionseffektiviteten, beskytte personalets sundhed og sikkerhed, opfylde lovgivningsmæssige krav, fremme teknologisk innovation og forbedre brandimage. Virksomheder bør fuldt ud overveje disse faktorer, når de bygger og vedligeholder rene rum for at sikre, at rene værelser kan opfylde behovene for produktion og F&U.
Indlægstid: 12-november 2024