Kilderne til partikler er opdelt i uorganiske partikler, organiske partikler og levende partikler. For menneskekroppen er det let at forårsage luftvejs- og lungesygdomme, og det kan også forårsage allergier og virusinfektioner; for siliciumchips vil fastgørelse af støvpartikler forårsage deformation eller kortslutning af integrerede kredsløb, hvilket får chipsene til at miste deres driftsfunktioner, så kontrol af mikroforureningskilder er blevet en vigtig del af renrumsstyring.
Vigtigheden af miljøkontrol i renrum ligger i at sikre, at miljøforholdene i produktionsprocessen opfylder specifikke renlighedsstandarder, hvilket er afgørende for mange brancher. Følgende er vigtigheden og den specifikke rolle af miljøkontrol i renrum:
1. Sikre produktkvaliteten
1.1 Forebyg forurening: I industrier som halvledere, lægemidler og medicinsk udstyr kan små partikler forårsage produktfejl eller -svigt. Ved at kontrollere luftkvaliteten og partikelkoncentrationen i renrum kan disse forurenende stoffer effektivt forhindres i at påvirke produktet.
Ud over den indledende investering i hardwareudstyr kræver vedligeholdelse og kontrol af renrumsrenlighed også et godt "software"-styringssystem for at opretholde god renlighed. Operatørerne har den største indflydelse på renrummets renlighed. Når operatørerne træder ind i renrummet, stiger støvmængden betydeligt. Når der er mennesker, der går frem og tilbage, forringes renligheden øjeblikkeligt. Det kan ses, at hovedårsagen til forringelsen af renligheden er menneskelige faktorer.
1.2 Konsistens: Renrumsmiljøet bidrager til at opretholde ensartetheden og repeterbarheden af produktionsprocessen og sikrer dermed en stabil produktkvalitet.
Hvad angår glassubstratet, vil vedhæftning af støvpartikler forårsage ridser på glassubstratet, kortslutninger og bobler samt anden dårlig proceskvalitet, hvilket resulterer i kassering. Derfor er kontrol af forureningskilder blevet en vigtig del af renrumsstyring.
Ekstern støvindtrængning og forebyggelse
Renrummet skal opretholde et passende positivt tryk (>0,5 mm/Hg), udføre et godt stykke arbejde i det indledende byggeprojekt for at sikre ingen luftlækage, og rengøre og aftørre personale, udstyr, råmaterialer, værktøj, forbrugsvarer osv., før de bringes ind i renrummet. Samtidig skal rengøringsværktøj placeres korrekt og udskiftes eller rengøres regelmæssigt.
Støvgenerering og -forebyggelse i renrum
Passende valg af renrumsmaterialer såsom skillevægge og gulve, kontrol af støvgenerering i procesudstyr, dvs. regelmæssig vedligeholdelse og rengøring, produktionspersonale må ikke gå rundt eller foretage store kropsbevægelser på deres lokationer, og forebyggende foranstaltninger såsom at påføre klæbemåtter træffes på særlige stationer.
2. Forbedre produktionseffektiviteten
2.1 Reducer skrotmængden: Ved at reducere urenheder og forurenende stoffer i produktionsprocessen kan skrotmængden reduceres, udbyttet øges, og dermed produktionseffektiviteten forbedres.
For eksempel: Der er 600 trin i waferproduktion. Hvis udbyttet af hver proces er 99 %, hvad er så det samlede udbytte af 600 procesprocedurer? Svar: 0,99600 = 0,24 %.
For at gøre en proces økonomisk rentabel, hvor højt skal udbyttet af hvert trin være?
•0,999600 = 54,8 %
•0,9999600=94,2%
Hvert procesudbytte skal nå mere end 99,99 % for at opnå det endelige procesudbytte på over 90 %, og kontaminering af mikropartikler vil direkte påvirke procesudbyttet.
2.2 Fremskynd processen: Arbejde i et rent miljø kan reducere unødvendig rengøring og omarbejdningstid, hvilket gør produktionsprocessen mere effektiv.
3. Sikre personalets sundhed og sikkerhed
3.1 Arbejdsmiljø: For nogle produktionsprocesser, der kan frigive skadelige stoffer, kan rene rum forhindre skadelige stoffer i at sprede sig til det ydre miljø og beskytte arbejdstagernes sundhed. Siden menneskehedens udvikling er teknologi, udstyr og viden blevet forbedret, men luftkvaliteten er forringet. En person inhalerer omkring 270.000 M3 luft i løbet af sit liv og bruger 70% til 90% af sin tid indendørs. Små partikler inhaleres af menneskekroppen og aflejres i luftvejene. Partikler på 5 til 30 µm aflejres i næsesvælget, partikler på 1 til 5 µm aflejres i luftrøret og bronkierne, og partikler under 1 µm aflejres i alveolevæggen.
Personer, der opholder sig i et rum med utilstrækkelig friskluftmængde i længere tid, er tilbøjelige til "indendørssyndrom" med symptomer som hovedpine, trykken for brystet og træthed, og er også tilbøjelige til at udvikle luftvejs- og nervesystemsygdomme. Mit lands nationale standard GB/T18883-2002 fastsætter, at friskluftmængden ikke må være mindre end 30 m3/t pr. person.
Friskluftmængden i et renrum bør tage den maksimale værdi af følgende to elementer:
a. Summen af den luftmængde, der kræves for at kompensere for den indendørs udstødningsmængde og for at sikre den indendørs positive trykværdi.
b. Sørg for den nødvendige friskluft til renrumspersonalet. Ifølge specifikationerne for renrumsdesign er friskluftmængden pr. person i timen ikke mindre end 40 m3.
3.2 Sikker produktion: Ved at kontrollere miljøparametre som luftfugtighed og temperatur kan sikkerhedsrisici som elektrostatisk udladning undgås for at sikre produktionssikkerheden.
4. Opfyld lovgivningsmæssige og standardmæssige krav
4.1 Branchestandarder: Mange brancher har strenge renlighedsstandarder (såsom ISO 14644), og produktionen skal udføres i renrum af bestemte kvaliteter. Overholdelse af disse standarder er ikke kun et lovkrav, men også en afspejling af virksomhedernes konkurrenceevne.
For at opnå en ren arbejdsbænk, et rent skur, et laminært flow-overførselsvindue, en ventilatorfilterenhed (FFU), et rent klædeskab, en laminær flow-hætte, en vejehætte, en ren skærm, en selvrensende enhed og luftbruserprodukter er det nødvendigt at standardisere metoderne til renhedstest af eksisterende produkter for at forbedre produkternes pålidelighed.
4.2 Certificering og revision: Bestå revisionen af tredjepartscertificeringsbureauer og opnå relevante certificeringer (såsom GMP, ISO 9001 osv.) for at øge kundernes tillid og udvide markedsadgangen.
5. Fremme teknologisk innovation
5.1 Forsknings- og udviklingsstøtte: Rene rum er et ideelt forsøgsmiljø til udvikling af højteknologiske produkter og hjælper med at fremskynde udviklingen af nye produkter.
5.2 Procesoptimering: Under et strengt kontrolleret miljø er det lettere at observere og analysere virkningen af procesændringer på produktets ydeevne og derved fremme procesforbedring.
6. Forbedr brand image
6.1 Kvalitetssikring: Rene produktionsfaciliteter af høj standard kan forbedre brandimage og øge kundernes tillid til produktkvaliteten.
6.2 Markedskonkurrenceevne: Produkter, der kan produceres i et rent miljø, betragtes ofte som et symbol på høj kvalitet og høj pålidelighed, hvilket hjælper virksomheder med at skille sig ud i den hårde markedskonkurrence.
7. Reducer reparations- og vedligeholdelsesomkostninger
7.1 Forlæng udstyrets levetid: Produktionsudstyr og værktøj, der opererer under rene forhold, er mindre modtagelige for korrosion og slid, hvilket forlænger levetiden og reducerer vedligeholdelseshyppigheden og -omkostningerne.
7.2 Reducer energiforbruget: Ved at optimere design og styring af renrum, forbedre energieffektiviteten, reducere energiforbruget og driftsomkostningerne.
Fire principper for driftstyring i renrum:
1. Medbring ikke:
HEPA-filterets ramme må ikke lække.
Det designerede tryk skal opretholdes indendørs.
Operatører skal skifte tøj og gå ind i renrummet efter luftbruseren.
Alt udstyr, materialer og værktøj skal rengøres, inden det kan bringes ind.
2. Generer ikke:
Folk skal bære støvfrit tøj.
Reducer unødvendige handlinger.
Brug ikke materialer, der let genererer støv.
Unødvendige genstande kan ikke medbringes.
3. Må ikke ophobes:
Der bør ikke være hjørner og maskinperiferier, der er vanskelige at rengøre eller rengøre.
Forsøg at minimere de blotlagte luftkanaler, vandrør osv. indendørs.
Rengøring skal udføres i henhold til standardmetoder og specificerede tider.
4. Fjern straks:
Øg antallet af luftskifter.
Udstødning nær den støvgenererende del.
Forbedr luftstrømmens form for at forhindre støv i at sætte sig fast på produktet.
Kort sagt er miljøkontrol i renrum af stor betydning for at sikre produktkvalitet, forbedre produktionseffektiviteten, beskytte personalets sundhed og sikkerhed, opfylde lovgivningsmæssige krav, fremme teknologisk innovation og forbedre brand image. Virksomheder bør fuldt ud tage disse faktorer i betragtning, når de bygger og vedligeholder renrum, for at sikre, at de kan opfylde produktionens og forskningens behov.
Opslagstidspunkt: 12. feb. 2025