Chipudbyttehastigheden i IC -fremstillingsindustrien er tæt knyttet til størrelsen og antallet af luftpartikler, der er deponeret på chippen. En god luftstrømsorganisation kan tage de partikler, der er genereret af støvkilden væk fra det rene rum for at sikre, at det rene rums renlighed, det vil sige, luftstrømsorganisationen i Clean Room spiller en vigtig rolle i udbyttehastigheden for IC -produktion. Designet af luftstrømsorganisationen i rent rum er nødt til at nå følgende mål: reducere eller eliminere hvirvelstrømmen i flowfeltet for at undgå tilbageholdelse af skadelige partikler; Oprethold en passende positiv trykgradient for at forhindre krydskontaminering.
Airflow Force
I henhold til det rene rumprincip inkluderer kræfterne, der virker på partiklerne, massivvåben, molekylær kraft, tiltrækning mellem partikler, luftstrømstyrke osv.
Airflow Force: Henviser til kraften i luftstrømmen forårsaget af levering, returner luftstrøm, termisk konvektion luftstrøm, kunstig omrøring og andre luftstrøm med en bestemt strømningshastighed for at bære partiklerne. For den tekniske kontrol af rent rummiljø er luftstrømstyrken den vigtigste faktor.
Eksperimenter har vist, at partiklerne i luftstrømsbevægelse følger luftstrømsbevægelsen med næsten samme hastighed. Partiklernes tilstand i luften bestemmes af luftstrømningsfordelingen. Luftstrømmene, der påvirker indendørs partikler, inkluderer hovedsageligt: luftforsyning luftstrøm (inklusive primær luftstrøm og sekundær luftstrøm), luftstrøm og termisk konvektion luftstrøm forårsaget af mennesker, der går, og luftstrømmen forårsaget af procesdrift og industrielt udstyr. Forskellige luftforsyningsmetoder, hastighedsgrænseflader, operatører og industrielt udstyr og inducerede fænomener i rene værelser er alle faktorer, der påvirker renlighedsniveauet.
Faktorer, der påvirker luftstrømsorganisationen
1. Indflydelse af luftforsyningsmetode
(1). Luftforsyningshastighed
For at sikre ensartet luftstrøm skal luftforsyningshastigheden være ensartet i et ensrettet rent rum; Den døde zone på luftforsyningsoverfladen skal være lille; og trykfaldet i ULPA skal også være ensartet.
Ensartet luftforsyningshastighed: Det vil sige, at luftstrømmen ujævnhed kontrolleres inden for ± 20%.
Mindre døde zone på luftforsyningsoverfladen: Ikke kun skal flyområdet for ULPA -rammen reduceres, men endnu vigtigere skal modulær FFU vedtages for at forenkle den overflødige ramme.
For at sikre lodret ensrettet luftstrøm er trykfaldet af filteret også meget vigtigt, hvilket kræver, at tryktabet i filteret ikke kan afvige.
(2). Sammenligning mellem FFU -system og aksial flowventilatorsystem
FFU er en luftforsyningsenhed med en ventilator og et filter (ULPA). Efter at luften er suget ind af centrifugalfanen af FFU, omdannes det dynamiske tryk til statisk tryk i luftkanalen og sprænges jævnt ud af ULPA. Luftforsyningstrykket på loftet er underligt tryk, så intet støv lækker ind i det rene rum, når filteret udskiftes. Eksperimenter har vist, at FFU -systemet er bedre end det aksiale strømningsventilatorsystem med hensyn til luftudløbsuniformitet, luftstrømningsparallelisme og ventilationseffektivitetsindeks. Dette skyldes, at luftstrømmen parallelismen i FFU -systemet er bedre. Brugen af FFU -systemet kan gøre luftstrømmen i det rene rum bedre organiseret.
(3). Påvirkningen af FFUs egen struktur
FFU er hovedsageligt sammensat af fans, filtre, Airflow Guide -enheder og andre komponenter. Den ultrahøj effektivitetsfilter ULPA er den vigtigste garanti for, om det rene rum kan opnå den krævede renlighed af designet. Materialet i filteret vil også påvirke ensartethedens ensartethed. Når et groft filtermateriale eller en laminær flowplade føjes til filterudløbet, kan outlet -flowfeltet let fremstilles ensartet.
2. Virkningen af forskellige hastighedsgrænseflader af renlighed
I det samme rene rum, mellem arbejdsområdet og det ikke-arbejdsområde i lodret ensrettet strømning, på grund af forskellen i lufthastighed ved ULPA-udløbet, genereres en blandet hvirveleffekt ved grænsefladen, og denne grænseflade bliver en turbulent Luftstrømningszone med særlig høj luftturbulensintensitet. Partikler kan overføres til udstyrets overflade og forurene udstyret og skiverne.
3. Virkning af personale og udstyr
Når det rene rum er tomt, opfylder luftstrømningsegenskaberne i rummet generelt designkravene. Når udstyret kommer ind i det rene rum, personaleflytning og produkter overføres, vil der uundgåeligt være hindringer for luftstrømningsorganisationen. F.eks. Ved de fremspringende hjørner eller kanter af udstyret vil gassen blive omdirigeret for at danne en turbulent zone, og væsken i zonen føres ikke let af gassen, hvilket forårsager forurening. På samme tid opvarmes udstyrets overflade på grund af kontinuerlig drift, og temperaturgradienten vil forårsage en reflowzone nær maskinen, hvilket vil øge ophobningen af partikler i reflowzonen. På samme tid vil den høje temperatur let få partiklerne til at flygte. Den dobbelte effekt forværrer vanskeligheden ved at kontrollere den samlede lodrette laminære renhed. Støvet fra operatørerne i det rene rum er meget let at klæbe til skiverne i disse reflowzoner.
4. Indflydelse af returluftgulv
Når modstanden for returluft, der passerer gennem gulvet, er forskellig, genereres en trykforskel, så luften vil strømme i retning af mindre modstand, og ensartet luftstrøm ikke opnås. Den nuværende populære designmetode er at bruge forhøjede gulve. Når åbningshastigheden på forhøjede gulve er 10%, kan luftstrømningshastigheden i rumets arbejdshøjde fordeles jævnt. Derudover bør der rettes streng opmærksomhed på rengøringsarbejde for at reducere forureningskilden på gulvet.
5. Induktionsfænomen
Det såkaldte induktionsfænomen henviser til det fænomen, at luftstrømmen i den modsatte retning af den ensartede strømning genereres, og støvet, der genereres i rummet eller støvet i det tilstødende forurenede område kan forurene chippen. Følgende er de mulige induktionsfænomener:
(1). Blind plade
I et rent rum med lodret ensrettet strømning på grund af samlingerne på væggen er der generelt store blinde plader, der vil generere turbulens i den lokale returstrøm.
(2). Lamper
Belysningsarmaturerne i det rene rum vil have større indflydelse. Da varmen fra fluorescerende lamper får luftstrømmen til at stige, vil der ikke være noget turbulent område under de fluorescerende lamper. Generelt er lamperne i det rene rum designet i en tårnform for at reducere virkningen af lamperne på luftstrømningsorganisationen.
(3.) huller mellem vægge
Når der er mellemrum mellem partitioner med forskellige renhedsniveauer eller mellem partitioner og lofter, kan støv fra området med krav til lav renlighed overføres til det tilstødende område med krav til høj renlighed.
(4). Afstand mellem maskinen og gulvet eller væggen
Hvis kløften mellem maskinen og gulvet eller væggen er meget lille, vil den forårsage rebound -turbulens. Efterlad derfor et mellemrum mellem udstyret og væggen og hæv maskinen for at undgå at lade maskinen røre jorden direkte.
Posttid: Feb-05-2025