Chipudbyttet i chipfremstillingsindustrien er tæt knyttet til størrelsen og antallet af luftpartikler, der er deponeret på ChIP. God luftstrømningsorganisation kan tage partikler genereret fra støvkilder væk fra det rene rum og sikre renligheden af det rene rum. Det vil sige, at luftstrømningsorganisationen i Cleanroom spiller en vigtig rolle i udbyttet af chipproduktion. De mål, der skal nås i designet af rent rumluftstrømningsorganisation, er: at reducere eller eliminere hvirvelstrømme i flowfelt for at undgå tilbageholdelse af skadelige partikler; At opretholde en passende positiv trykgradient for at forhindre krydskontaminering.
I henhold til det rene rumprincip inkluderer kræfterne, der virker på partikler, massivvåben, molekylær kraft, tiltrækning mellem partikler, luftstrømstyrke osv.
Luftstrømstyrke: Henviser til kraften i luftstrøm forårsaget af forsyning og returnerer luftstrøm, termisk konvektion luftstrøm, kunstig omrøring og andre luftstrømme med en bestemt strømningshastighed til at bære partikler. For Clean Room Environmental Technology Control er Air Flow Force den vigtigste faktor.
Eksperimenter har vist, at partikler i luftstrømmen i luftstrømning følger luftstrømmen med næsten nøjagtigt den samme hastighed. Tilstanden for partikler i luft bestemmes af luftstrømningsfordelingen. Hovedeffekterne af luftstrøm på indendørs partikler inkluderer: luftforsyning luftstrøm (inklusive primær luftstrøm og sekundær luftstrøm), luftstrøm og termisk konvektion luftstrøm forårsaget af mennesker, der går, og virkningen af luftstrømmen på partikler forårsaget af procesoperationer og industrielt udstyr. Forskellige luftforsyningsmetoder, hastighedsgrænseflader, operatører og industrielt udstyr, inducerede fænomener osv. I rentrum er alle faktorer, der påvirker renlighedsniveauet.
1. Indflydelse af luftforsyningsmetode
(1) Luftforsyningshastighed
For at sikre ensartet luftstrøm skal luftforsyningshastigheden i det ensrettede strømningsrene rum være ensartet; Den døde zone på luftforsyningsoverfladen skal være lille; og trykfaldet inden for HEPA -filter skal også være ensartet.
Luftforsyningshastigheden er ensartet: det vil sige, at luftstrømmen ujævnhed kontrolleres inden for ± 20%.
Der er mindre død plads på luftforsyningsoverfladen: ikke kun skal planeområdet for HEPA -rammen reduceres, men endnu vigtigere skal modulær FFU bruges til at forenkle den overflødige ramme.
For at sikre, at luftstrømmen er lodret og ensrettet, er trykfaldsvalget af filteret også meget vigtigt, og det kræves, at tryktabet inden for filteret ikke kan være partisk.
(2) Sammenligning mellem FFU -system og aksial flowventilatorsystem
FFU er en luftforsyningsenhed med et ventilator- og HEPA -filter. Luften suges ind af centrifugalfanen af FFU og omdanner det dynamiske tryk til statisk tryk i luftkanalen. Det sprænges jævnt ud af HEPA -filter. Luftforsyningstrykket på loftet er et negativt tryk. På denne måde lækker intet støv ind i rent rum, når du udskifter filteret. Eksperimenter har vist, at FFU -systemet er bedre end det aksiale strømningsventilatorsystem med hensyn til ensartethed, luftstrømningsparallelisme og ventilationseffektivitetsindeks. Dette skyldes, at luftstrømmen parallelismen i FFU -systemet er bedre. Brugen af FFU -systemet kan forbedre luftstrømningsorganisationen i rent rum.
(3) Indflydelse af FFUs egen struktur
FFU er hovedsageligt sammensat af fans, filtre, luftstrømguider og andre komponenter. HEPA -filteret er den vigtigste garanti for rent rum for at opnå den krævede renlighed, der kræves af design. Materialet i filteret vil også påvirke ensartethedens ensartethed. Når et ru filtermateriale eller en flowplade føjes til filterudløbet, kan udløbsfeltet let fremstilles ensartet.
2. Virkningen af hastighedsgrænsefladen med forskellig renlighed
I det samme rene rum, mellem arbejdsområdet og det ikke-arbejdsområde med lodret ensrettet strømning, på grund af forskellen i lufthastighed ved HEPA-boksen, vil en blandet hvirveleffekt forekomme ved grænsefladen, og denne grænseflade bliver en turbulent Luftstrømszone. Intensiteten af luftturbulens er særlig stærk, og partikler kan overføres til overfladen af udstyrsmaskinen og forurene udstyret og skiverne.
3. indflydelse på personale og udstyr
Når rent rum er tomt, opfylder luftstrømningsegenskaberne i rummet generelt designkravene. Når udstyr kommer ind i Cleanroom, bevæger folk sig, og produkter transporteres, er der uundgåeligt hindringer for luftstrømningsorganisationen, såsom skarpe punkter, der stikker ud fra udstyrsmaskinen. I hjørnerne eller kanterne vil gassen aflede for at danne et turbulent strømningsområde, og væsken i området vil ikke let blive ført væk af den indkommende gas og dermed forårsage forurening.
På samme tid opvarmes overfladen af det mekaniske udstyr på grund af kontinuerlig drift, og temperaturgradienten vil forårsage et reflowområde nær maskinen, hvilket øger ophobningen af partikler i reflowområdet. På samme tid vil den høje temperatur let få partiklerne til at flygte. Den dobbelte effekt intensiverer det samlede lodrette lag. Problemet med at kontrollere strømrensning. Støv fra operatører i rent rum kan let klæbe sig til skiver i disse reflowområder.
4. Indflydelse af returluftgulv
Når modstanden for returluften, der passerer gennem gulvet, er forskellig, vil trykforskellen forekomme, hvilket får luft til at strømme i retning af lille modstand, og ensartet luftstrøm vil ikke opnås. Den nuværende populære designmetode er at bruge et forhøjet gulv. Når åbningsforholdet på det forhøjede gulv er på 10%, kan luftstrømningshastigheden fordeles jævnt i den indendørs arbejdshøjde. Derudover bør der rettes streng opmærksomhed på rengøringsarbejde for at reducere kilden til forurening på gulvet.
5. Induktionsfænomen
Det såkaldte induktionsfænomen henviser til fænomenet med at generere luftstrøm i den modsatte retning til den ensartede strømning, hvilket inducerer støv genereret i rum eller støv i tilstødende kontaminerede områder til vindsiden, hvilket får støvet til at kontaminere skiven. Mulige inducerede fænomener inkluderer følgende:
(1) Blind plade
I et rent rum med lodret envejsstrøm på grund af samlingerne på væggen er der generelt store blinde paneler, der producerer turbulent strømning og lokal tilbagestrømning.
(2) Lamper
Belysningsarmaturer i rent rum vil have større indflydelse. Da varmen fra fluorescerende lampe får luftstrømmen til at stige, bliver fluorescerende lampe ikke et turbulent område. Generelt er lamperne i rent rum designet i en tårnform for at reducere virkningen af lamperne på luftstrømsorganisationen.
(3) huller mellem vægge
Når der er mellemrum mellem partitionsvægge eller lofter med forskellige renhedskrav, kan støv fra områder med lav renlighedskrav overføres til tilstødende områder med høje renhedskrav.
(4) Afstanden mellem det mekaniske udstyr og gulvet eller væggen
Hvis kløften mellem det mekaniske udstyr og gulvet eller væggen er lille, vil rebound -turbulens forekomme. Efterlad derfor et mellemrum mellem udstyret og væggen og hæv maskinplatformen for at undgå direkte kontakt med jorden.
Posttid: Nov-02-2023