

IS0 14644-5 kræver, at installationen af fast udstyr i rene værelser skal være baseret på design og funktion af det rene rum. Følgende detaljer introduceres nedenfor.
1. udstyrsinstallationsmetode: Den ideelle metode er at lukke rent rum i installationsperioden for udstyret og have en dør, der kan opfylde udstyrets visningsvinkel eller reservere en kanal på tavlen for at give nyt udstyr mulighed for at passere og komme ind i rent Rum for at forhindre, at rent rum i nærheden af installationsperioden er forurenet, skal der træffes beskyttelsesforanstaltninger for at sikre, at det rene rum stadig opfylder dets renhedskrav og det efterfølgende arbejde, der kræves.
2. Hvis arbejdet i rent rum ikke kan stoppes i hver installationsperiode, eller hvis der er strukturer, der skal demonteres, skal det løbende rene rum effektivt isoleres fra arbejdsområdet: midlertidige isoleringsvægge eller partitioner kan bruges. For ikke at hindre installationsarbejdet, skal der være plads nok omkring udstyret. Hvis forholdene tillader det, kan adgang til isoleringsområdet være gennem servicekanaler eller andre ikke-kritiske områder: Hvis dette ikke er muligt, skal der træffes foranstaltninger for at minimere forureningspåvirkningen forårsaget af installationsarbejdet. Isoleringsområdet skal opretholde lige tryk eller negativt tryk. Den rene luftforsyning skal afskæres i højhusområdet for at undgå positivt tryk på de omgivende rene værelser. Hvis adgangen til isoleringsområdet kun er gennem et tilstødende rent rum, skal klæbrige puder bruges til at fjerne snavs fra sko.
3. Efter at have kommet ind i området i højde, kan disponible støvler eller oversko og arbejdstøj i ét stykke bruges til at undgå at forurene det rene tøj. Disse engangsartikler skal fjernes, før de forlader karantænområdet. Metoder til overvågning af området omkring isoleringsområdet under udstyrsinstallationsprocessen skal udvikles, og hyppigheden af overvågning skal bestemmes for at sikre, at enhver forurening, der kan lække ind i det tilstødende rene rum, påvises. Efter at isoleringsforanstaltningerne er oprettet, kan der indstilles forskellige krævede offentlige servicefaciliteter, såsom elektricitet, vand, gas, vakuum, trykluft og spildevandsrørledninger. Der skal rettes opmærksomhed på at kontrollere og isolere røg og affald, der genereres af operationen så meget som muligt for at undgå utilsigtet spredning til det omgivende rene rum. Det skal også lette effektiv rengøring, før isoleringsbarrieren fjernes. Efter at de offentlige servicefaciliteter opfylder brugskravene, skal hele isoleringsområdet rengøres og dekontamineres i henhold til de foreskrevne rengøringsprocedurer. Alle overflader, inklusive alle vægge, udstyr (fast og bevægeligt) og gulve, skal vakuum rengøres, tørres og moppes, med særlig opmærksomhed på rengøringsområder bag udstyrsvagter og under udstyr.
4. en foreløbig test af udstyrsydelse kan udføres baseret på de faktiske forhold i det rene rum og installeret udstyr, men efterfølgende accepttest skal udføres, når de rene miljøforhold er fuldt opfyldt. Afhængig af forholdene på installationsstedet kan du begynde at afmontere isoleringsvæggen omhyggeligt; Hvis den rene luftforsyning er slukket, skal du genstarte den; Tiden for dette arbejdsfase skal vælges omhyggeligt for at minimere interferensen med det normale arbejde i det rene rum. På dette tidspunkt kan det være nødvendigt at måle, om koncentrationen af luftbårne partikler opfylder de specificerede krav.
5. Rengøring og forberedelse af det indre af udstyret og de vigtigste proceskamre skal udføres under normale rene rumforhold. Alle interne kamre og alle overflader, der kommer i kontakt med produktet eller er involveret i produkttransport, skal tørres ned til det krævede niveau af renlighed. Rengøringssekvensen af udstyret skal være fra top til bund. Hvis partikler spredes, falder større partikler til bunden af udstyret eller jorden på grund af tyngdekraften. Rengør den ydre overflade af udstyret fra top til bund. Når det er nødvendigt, skal overfladepartikeldetektion udføres i områder, hvor kravene til produkt- eller produktionsprocesser er kritiske.
6. I betragtning af egenskaberne ved rene værelser, især det store område, høje investeringer, høje output og meget strenge renhedskrav i højteknologiske rene værelser, er installationen af produktionsprocesudstyr i denne type ren fabrik mere ligner det af almindelige rene værelser. Med henblik herpå lavede National Standard "Code for Clean Factory Construction and Quality Acceptance", der blev frigivet i 2015, nogle bestemmelser til installation af produktionsprocesudstyr i rene fabrikker, hovedsageligt inklusive følgende.
①. For at forhindre forurening eller endda skade på det rene rum, der har gennemgået "tom" accept under installationsprocessen med produktionsprocesudstyr, må installationsprocessen for udstyr overflader.
②. For at fremstille installation af produktionsprocesudstyr i det ordnede i det rene rum og uden eller med mindre siddende og for at følge det rene produktionsstyringssystem i rent værksted, skal du sikre dig, at installationsprocessen for produktionsudstyret er beskyttet i henhold til de forskellige " Færdige produkter "og" semi-færdigprodukter ", der er accepteret i" tom tilstand ", materialer, maskiner osv., Der skal bruges i installationsprocessen må ikke udsende eller kan producere (inklusive i den normale drift af det rene rum i lang tid tid) forurenende stoffer skadeligt for de producerede produkter. Rene materialer, der er støvfri, rustfri, fedtfri og ikke producerer støv under brug, skal bruges.
③. Bygningsdekorationsoverfladen på det rene rum skal beskyttes med rene, støvfrie plader, film og andre materialer; Udstyrets backingplade skal laves i henhold til design- eller udstyrets tekniske dokumentkrav. Hvis der ikke er nogen krav, skal der anvendes rustfrit stålplader eller plastplader. Kulstofstålprofiler, der bruges til uafhængige fundamenter og gulvforstærkninger, skal behandles med antikorrosion, og overfladen skal være flad og glat; Elastiske tætningsmaterialer, der bruges til blank.
④. Materialer skal markeres med ingredienser, sorter, fremstillingsdato, opbevaringsgyldighedsperiode, konstruktionsmetodinstruktioner og produktkvalifikationscertifikater. Maskiner og værktøjer, der bruges i rene værelser, må ikke flyttes til ikke-rene værelser til brug. Maskiner og værktøjer må ikke flyttes til det rene rum til brug. Maskiner og værktøjer, der bruges i det rene område, skal sikre, at de udsatte dele af maskinen ikke producerer støv eller træffer foranstaltninger for at forhindre støv i at forurene miljøet. Almindeligt anvendte maskiner og værktøjer skal rengøres i luftlåsen, før de flyttes til det rene område. , skal opfylde kravene til at være oliefri, snavsfri, støvfri og rustfri, og bør flyttes efter at have passeret inspektionen og fastgørelse af et "rent" eller "kun rent område" -skilt.
⑤. Produktionsprocesudstyret i det rene rum skal installeres på "specifikke gulve", såsom hævede gulve. Udstyrsfundamentet skal generelt indstilles på det lavere tekniske mezzaningulv eller på cementporøs plade; De aktiviteter, der skal demonteres for at installere fundamentet Strukturen på gulvet efter at have været skåret med en håndholdt elektrisk sav, skal styrkes, og dens bærende kapacitet bør ikke være lavere end den oprindelige bærende kapacitet. Når der anvendes et uafhængigt fundament af en stålrammestruktur, skal den fremstilles af galvaniseret materiale eller rustfrit stål, og den udsatte overflade skal være flad og glat.
⑥. Når installationsprocessen for produktionsprocesudstyr i rent rum kræver åbning af huller i vægpaneler, ophængt lofter og hævede gulve, må boringsoperationerne ikke opdele eller forurene overfladerne på vægpaneler og suspenderede loftspaneler, der skal bevares. Efter åbningen af det hævede gulv, når fonden ikke kan installeres i tide, skal sikkerhedsbeskyttelses- og faretegn installeres; Når produktionsudstyret er installeret, skal kløften omkring hullet forsegles, og udstyret og forseglingskomponenterne skal være i fleksibel kontakt, og forbindelsen mellem tætningskomponenten og vægpladen skal være stram og fast; Forseglingsoverfladen på den ene side af arbejdsrummet skal være flad og glat.
Posttid: SEP-06-2023