IS0 14644-5 kræver, at installation af fast udstyr i renrum skal være baseret på design og funktion af renrum.Følgende detaljer vil blive introduceret nedenfor.
1. Udstyrsinstallationsmetode: Den ideelle metode er at lukke rent rum i udstyrsinstallationsperioden og have en dør, der kan opfylde udstyrets synsvinkel eller reservere en kanal på brættet for at tillade nyt udstyr at passere igennem og komme rent ind. rum for at forhindre, at rent rum nær installationsperioden bliver forurenet, bør der træffes beskyttelsesforanstaltninger for at sikre, at renrummet stadig opfylder dets krav til renlighed og det efterfølgende arbejde, der kræves.
2. Hvis arbejdet i renrum ikke kan standses i hver installationsperiode, eller hvis der er konstruktioner, der skal demonteres, skal det løbende renrum være effektivt isoleret fra arbejdsområdet: midlertidige isoleringsvægge eller skillevægge kan anvendes.For ikke at hindre installationsarbejdet skal der være nok plads omkring udstyret.Hvis forholdene tillader det, kan adgang til isolationsområdet ske gennem servicekanaler eller andre ikke-kritiske områder: Hvis dette ikke er muligt, bør der træffes foranstaltninger for at minimere forureningspåvirkningen fra installationsarbejdet.Isoleringsområdet skal opretholde samme tryk eller undertryk.Den rene lufttilførsel bør afbrydes i højhusområdet for at undgå overtryk på de omkringliggende rene rum.Hvis adgang til isolationsområdet kun er gennem et tilstødende rent rum, skal der bruges klæbrige puder til at fjerne snavs fra sko.
3. Efter indtræden i det høje område kan engangsstøvler eller overtrækssko og arbejdstøj i ét stykke bruges for at undgå at forurene det rene tøj.Disse engangsartikler skal fjernes, før de forlader karantæneområdet.Metoder til overvågning af området omkring isolationsområdet under udstyrsinstallationsprocessen bør udvikles, og overvågningsfrekvensen bør bestemmes for at sikre, at enhver forurening, der kan lække ind i det tilstødende renrum, opdages.Efter at isoleringsforanstaltningerne er opsat, kan der opsættes forskellige nødvendige offentlige servicefaciliteter såsom el, vand, gas, vakuum, trykluft og spildevandsledninger.Vær opmærksom på at kontrollere og isolere røgen og affaldet, der genereres af operationen, så meget som muligt for at undgå utilsigtet spredning til det omgivende renrum.Det skal også lette effektiv rengøring før fjernelse af isolationsbarrieren.Efter at de offentlige servicefaciliteter opfylder brugskravene, bør hele isolationsområdet rengøres og dekontamineres i henhold til de foreskrevne rengøringsprocedurer.Alle overflader, inklusive alle vægge, udstyr (fast og bevægeligt) og gulve, bør støvsuges, tørres og vaskes, med særlig opmærksomhed på rengøring af områder bag udstyrsskærme og under udstyr.
4. En foreløbig test af udstyrets ydeevne kan udføres baseret på de faktiske forhold i renrummet og det installerede udstyr, men efterfølgende accepttest bør udføres, når de rene miljøbetingelser er fuldt ud opfyldt.Afhængigt af forholdene på installationsstedet kan du begynde forsigtigt at afmontere isolationsvæggen;hvis den rene lufttilførsel er blevet slukket, genstart den;tidspunktet for denne fase af arbejdet bør vælges omhyggeligt for at minimere interferens med det normale arbejde i renrummet.På dette tidspunkt kan det være nødvendigt at måle, om koncentrationen af luftbårne partikler opfylder de specificerede krav.
5. Rengøring og klargøring af det indre af udstyret og nøgleproceskamrene bør udføres under normale renrumsforhold.Alle indvendige kamre og alle overflader, der kommer i kontakt med produktet eller er involveret i produkttransport, skal tørres ned til det påkrævede renhedsniveau.Rengøringssekvensen for udstyret skal være fra top til bund.Hvis partikler spredes, vil større partikler falde til bunden af udstyret eller jorden på grund af tyngdekraften.Rengør den ydre overflade af udstyret fra top til bund.Når det er nødvendigt, bør overfladepartikeldetektion udføres i områder, hvor produkt- eller produktionsproceskravene er kritiske.
6. I lyset af rene rums egenskaber, især det store område, høje investeringer, høje output og meget strenge krav til renlighed i højteknologiske renrum, er installationen af produktionsprocesudstyr i denne type rene fabrikker mere lig den af almindelige renrum.Til dette formål indeholdt den nationale standard "Code for Clean Factory Construction and Quality Acceptance" udgivet i 2015 nogle bestemmelser for installation af produktionsprocesudstyr i rene fabrikker, hovedsagelig herunder følgende.
①.For at forhindre forurening eller endda skade på renrummet, der har gennemgået en "tom" accept under installationsprocessen af produktionsprocesudstyr, må installationsprocessen af udstyret ikke have overdreven vibration eller hældning og må ikke opdeles og forurene udstyr overflader.
②.For at gøre installationen af produktionsprocesudstyr i renrummet velordnet og uden eller med mindre siddetid, og for at følge det rene produktionsstyringssystem i rent værksted, sikres, at installationsprocessen af produktionsudstyret er beskyttet i henhold til de forskellige " færdigvarer" og "halvfabrikata" accepteret i "tom tilstand", materialer, maskiner osv., der skal bruges i installationsprocessen, må ikke afgive eller kan producere (herunder ved normal drift af renrummet i længere tid tid) forurenende stoffer, der er skadelige for de producerede produkter.Der bør anvendes rene materialer, der er støvfri, rustfri, fedtfri og ikke producerer støv under brug.
③.Renrummets bygningsdekorationsoverflade skal beskyttes med rene, støvfrie plader, film og andre materialer;udstyrsbagpladen skal være fremstillet i overensstemmelse med design eller udstyrs tekniske dokumentkrav.Hvis der ikke er krav, bør der anvendes rustfri stålplader eller plastplader.Kulstofstålprofiler, der bruges til uafhængige fundamenter og gulvforstærkninger, skal behandles med anti-korrosion, og overfladen skal være flad og glat;elastiske tætningsmaterialer, der anvendes til fugning.
④.Materialer skal være mærket med ingredienser, varianter, fremstillingsdato, opbevarings gyldighedsperiode, konstruktionsmetode instruktioner og produktkvalifikationscertifikater.Maskiner og værktøj, der anvendes i rene rum, må ikke flyttes til ikke-rene rum til brug.Maskiner og værktøj må ikke flyttes til renrummet til brug.Maskiner og værktøj, der anvendes i det rene område, skal sikre, at de udsatte dele af maskinen ikke producerer støv eller træffe foranstaltninger for at forhindre, at støv forurener miljøet.Almindelig brugte maskiner og værktøj bør rengøres i luftslusen, før de flyttes til det rene område., bør opfylde kravene om at være oliefri, smudsfri, støvfri og rustfri, og bør flyttes efter at have bestået inspektionen og anbragt et "Clean" eller "Clean Area Only"-skilt.
⑤.Produktionsprocesudstyret i renrummet skal installeres på "specifikke gulve", såsom hævede gulve.Udstyrsfundamentet bør generelt sættes på det nederste tekniske mezzaningulv eller på den porøse cementplade;de aktiviteter, der skal demonteres for at installere fundamentet. Gulvets struktur efter skæring med en håndholdt elektrisk sav bør forstærkes, og dets bæreevne bør ikke være lavere end den oprindelige bæreevne.Når der anvendes et uafhængigt fundament af en stålrammekonstruktion, skal det være lavet af galvaniseret materiale eller rustfrit stål, og den udsatte overflade skal være flad og glat.
⑥.Når installationsprocessen af produktionsprocesudstyr i renrum kræver åbning af huller i vægpaneler, nedhængte lofter og hævede gulve, må boreoperationerne ikke opdele eller forurene overfladerne på vægpaneler og nedhængte loftspaneler, der skal fastholdes.Efter åbningen af det hævede gulv, når fundamentet ikke kan installeres i tide, skal der monteres sikkerhedsrækværk og fareskilte;efter at produktionsudstyret er installeret, skal spalten omkring hullet forsegles, og udstyret og tætningskomponenterne skal være i fleksibel kontakt, og forbindelsen mellem tætningskomponenten og vægpladen skal være tæt og fast;tætningsfladen på den ene side af arbejdsrummet skal være flad og glat.
Indlægstid: 06-09-2023